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分类小贴士

无掩模光刻机(也叫直写光刻机)是一种将图案直接写入光刻胶上的光刻设备,不需要使用掩模(即类似印章的遮罩板)来进行光刻。与传统的掩模光刻机相比,无掩模光刻机具有以下优点: 更快的制程速度:无掩模光刻机不需要进行掩模对准和对位工作,因此制程速度更快。 更灵活的生产能力:由于无掩模光刻机可以直接在光刻胶上绘制图案,因此可以生产出更加灵活、多样化的产品,而不必因为制造新的掩模而增加成本。 更低的成本:无掩模光刻机不需要使用掩模,因此在掩模设计、制造、校验和维护等方面都可以降低成本。 无掩模光刻机主要应用于MEMS、LED、纳米技术、生物芯片等领域的制造。

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